水洗式廢氣處理機是一台專門處理及分解各現場製程廢氣的系統,它運用了水溶解的方式,將製程所產生的廢氣溶解於水中並分解,再經由另一道程序的水處理而排放至廠務排放系統,所處理的廢氣包含大部份半導體廠、TFT-LCD、LED廠、磊晶廠所使用的特殊氣體。
產品特色:
1.SEMI-S2 認證。
2.低成本。
3.擁有多段高溶解效率的灑水系統。
4.彩色液晶螢幕顯示控制器。
5.獨立的 Inlet 和 Outlet 壓力表頭。
6.快速維修保養完成。
7.設有多項偵測器,包含:水位、壓力錶 … 等。
產品規格:
1.設有四個廢氣處理入口端。
2.外觀尺寸 ( 公厘 )-1400( 深 )*1200( 寬 )*1750( 高 )。
3.機台重量: 268 公斤 。
4.最高處理量可到達 1600 slm 。
選購配備:
出口端鼓風機、遠端監控系統、自動切換系統 、加熱槍及加熱帶、水質酸鹼測量供應系統