真空零件

Vacuum Components
• 真空法蘭、接頭及零件
• 真空管件及伸縮波紋管
• 玻璃視窗
• 玻璃金屬轉接件

Vacuum Valves
• 真空閘閥
• 隔膜式閥門
• 球閥
• 全金屬閥門

Feedthroughs
• 電源導入密封件
• 流體導入密封件
• 傳動式導入密封件
• 光學式導入密封件

Vacuum Gauges
• 電容/隔膜式真空計
• Pirani 低真空計
• 熱電偶式真空計
• 冷陰極式高真空計
• 離子式高真空計
• 複合式寬量程真空計

Traps & Filters
• 抽氣端補捉器
• 抽氣端粉塵補捉器
• 油霧過濾器
• 各種型式濾心

Vacuum Pump
• 粗略真空幫浦(油/乾/魯式)
• 擴散真空幫浦
• 高真空渦輪分子幫浦
• 超高真空離子幫浦
• 各式真空幫浦維修包

Evaporation Sources
• 蒸鍍加熱線絲
• 蒸鍍加熱器、舟、棒
• 蒸鍍坩堝

Deposition Materials
• 各種碇狀金屬材料
• 各種圓形濺鍍靶材
• 靶材和背板貼合服務
• 金屬廢料回收服務

Deposition Sources
• TORUS@磁控管濺射源
• 熱蒸發器
• 電子束蒸鍍源
• LTE多源組合陣列

Process Instrumentation
• 質量流量計(MFC)及控制器
• 薄膜厚度監控器及控制器
• RF、DC、AC電源供應器

VacTran Software
• VT3 Computer Modeling Software