燃燒乾式廢氣處理機是一個專門處理含氟性氣體及超大量粉層的廢氣處理系統,它利用高溫燃燒分解將製程所產生的氟性氣體裂解,適用於粉層量多的製程,藉由風冷的方式降溫,並以特殊的物理設計將粉層集中收集,方便後續處理。適用於半導體廠、TFT-LCD廠、面板廠、薄膜太陽能廠 …等。
產品特色:
1.作業溫度 1350 度。
2.天然氣消耗量低,廢氣處理量非常大。
3.電源箱具有智慧型自動冷卻系統。
4. LCD 觸控式螢幕,中文介面,人性化操作。
產品規格:
1.設有六個廢氣處理入口端。
2.外觀尺寸 ( 公厘 )-1500( 深 )*1300( 寬 )*2000( 高 )。
3.機台重量: 1000 公斤。
4.最高處理量可到達 3000 slm。
選購配備:
遠端監控系統、自動切換系統