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退火爐 / 擴散爐 /LPCVD
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品牌:
森積
單價:
面議
起訂:
1
供貨總量:
發貨期限:
自買家付款之日起
天內發貨
所在地:
台灣
有效期至:
長期有效
最後更新:
2019-05-29 15:54
公司基本資料
森積科技有限公司
[公司資料]
聯繫人
林欣宜(小姐)
會員
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[發送信件]
郵件
電話
地區
台灣
地址
臺北市內湖區陽光街347號4樓之1
產品詳細說明
加熱區 : 12”dia x 48L
最高溫 : 1200C
Heater : R-Type, 3Set T/C, lead wire and head 160A, 380V/60Hz/3ph
三區加熱, 電腦控制, 可自動控制溫度(升降溫、恆溫)及控制真空壓力與手臂進出
自動 PID 控制器
即時 LED 顯示螢幕當下實際溫度與製程參數
適用晶片 6~8" Wafer
可課製設定溫度設定程式,且可調整 PID 參數以達到最佳設定溫度點
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