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退火爐 / 擴散爐 /LPCVD

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品牌: 森積
單價: 面議
起訂: 1
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發貨期限: 自買家付款之日起 天內發貨
所在地: 台灣
有效期至: 長期有效
最後更新: 2019-05-29 15:54
詢價
公司基本資料
 
 
產品詳細說明
加熱區 : 12”dia x 48L
最高溫 : 1200C
Heater : R-Type, 3Set T/C, lead wire and head 160A, 380V/60Hz/3ph
三區加熱, 電腦控制, 可自動控制溫度(升降溫、恆溫)及控制真空壓力與手臂進出
自動 PID 控制器
即時 LED 顯示螢幕當下實際溫度與製程參數
適用晶片 6~8" Wafer
可課製設定溫度設定程式,且可調整 PID 參數以達到最佳設定溫度點
 
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